Roll-to-roll naprašovanie

Bobst Group SA Roll-To-Roll Sputtering

Sputteranlage GVE/Optilab: Rolle-zu-Rolle-System zur Abscheidung von ultradünnen Schichten (im Nanometerbereich). Die Anlage ermöglicht die Beschichtung verschiedenster Materialien (Metalle, transparente leitfähige Schichten) auf Folienmaterial. Ausgestattet mit mehreren Sputterkathoden können gleichzeitig mehrere Schichten abgeschieden werden.

GVE, Bobst Ltd, Optilab, Baujahr 2010: Vakuum-basiertes Rolle-zu-Rolle-Sputter-System mit 3 Beschichtungskammern, jeweils für 2 Kathoden. Ausstattung:
- 520 mm Bahnbreite
- Bidirektionaler Auf- und Abwickelmechanismus mit Inter- und De-Interleave-Funktion
- Turbomolekularpumpen (magnetisch gelagert) in allen Zonen
- Kühlwalze und Heizeinheit (Temperaturbereich: -20°C bis +200°C)
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- 1100er Polycold-Einheit mit Kryospiralen in jedem Sputterbereich sowie in der Wickelzone
- GVE AC Mittelspannungs-Plasmaeinheit
- Widerstandsmesssystem zur inline Kontrolle (Messung auf der Mittelbahn)
- Siemens WIN CC Touchpanel zur Steuerung der Maschine und Überwachung
- Infrarot-Heizzone (3 Heizmodule)
- Bahnpolarisierungssystem (inkl. Netzteil)
- 1 Generator (MAG) mit 2 x 20 kW gepulstem DC
- 1 Doppelmagsystem mit 2 x 10 kW gepulstem DC (inkl. versteckter Anode)
- MFC‘s u.Ä.
- Vollintegriertes PEM Sputter-Steuerungssystem
- Neupreis: 1.450.000,- Euro

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