Front-End modul pre wafery 300 mm
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

pevná cena bez DPH
59 750 €
Rok výroby
2010
Stav
Použitý
Umiestnenie
Dresden Nemecko
Front-End modul pre wafery 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
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Údaje o stroji

Popis stroja:
Front-End modul pre wafery 300 mm
Výrobca:
BROOKS ASYST
Model:
Spartan EFEM Sorter
Rok výroby:
2010
Stav:
použitý

Cena a lokalita

pevná cena bez DPH
59 750 €

Umiestnenie:
Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland Nemecko
Volať

Podrobnosti ponuky

ID záznamu:
A20798077
Referenčné č.:
LW43278
Naposledy aktualizované:
dňa 19.12.2025

Popis

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sortierer

Modell: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sortierer
Zustand: Gebraucht

Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
10A

Allgemeines:
300-mm-EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Mini-Umgebung und integriertem Wafer-Transferroboter

Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung.
Es verfügt über drei Loadports, ein Mini-Umgebung mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfangreiche Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen für die Anlagenintegration.
Zusätzlich ist ein vollständig integrierter Wafer-Transferroboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an die nachfolgenden Prozessmodule übergibt.

Baujahr: 27.12.2010
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Inklusive CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbüchern (9701-3060-01 Rev G)

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Poskytovateľ

Registrované od: 2014

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