Front-End modul pre wafery 300 mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Front-End modul pre wafery 300 mm
BROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Pevná cena plus DPH
59 750 €
Rok výroby
2010
Stav
Použitý
Umiestnenie
Dresden 

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Údaje o stroji
- Označenie stroja:
- Front-End modul pre wafery 300 mm
- Výrobca:
- BROOKS ASYST
- Model:
- Spartan EFEM Sorter
- Rok výroby:
- 2010
- Stav:
- použitý
Cena a lokalita
Pevná cena plus DPH
59 750 €
- Umiestnenie:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

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Podrobnosti ponuky
- ID inzerátu:
- A20798077
- Referenčné číslo:
- LW43278
- Aktualizácia:
- naposledy dňa 05.01.2026
Popis
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sortierer
Modell: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sortierer
Zustand: Gebraucht
Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
Rodpfxjx I Ax So Ahysr
10A
Allgemeines:
300-mm-EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Mini-Umgebung und integriertem Wafer-Transferroboter
Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung.
Es verfügt über drei Loadports, ein Mini-Umgebung mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfangreiche Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen für die Anlagenintegration.
Zusätzlich ist ein vollständig integrierter Wafer-Transferroboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an die nachfolgenden Prozessmodule übergibt.
Baujahr: 27.12.2010
Inklusive CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbüchern (9701-3060-01 Rev G)
Inzerát bol automaticky preložený. Chyby v preklade sú možné.
Modell: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sortierer
Zustand: Gebraucht
Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
Rodpfxjx I Ax So Ahysr
10A
Allgemeines:
300-mm-EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Mini-Umgebung und integriertem Wafer-Transferroboter
Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung.
Es verfügt über drei Loadports, ein Mini-Umgebung mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfangreiche Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen für die Anlagenintegration.
Zusätzlich ist ein vollständig integrierter Wafer-Transferroboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an die nachfolgenden Prozessmodule übergibt.
Baujahr: 27.12.2010
Inklusive CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbüchern (9701-3060-01 Rev G)
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