Zdroj laserového lúča

Lambdaphysik (jetzt Coherent) LPF 202 Excimer Laser, F2 Version

Lambdaphysik
Typ: LPF 202 Excimer-Laser, F2-Version, 400 V
Laserstrahlquelle von Lambdaphysik (jetzt Coherent)
Die LPF 202 F2 Laser sind gepulste VUV-Laser mit einer Wellenlänge von 157 nm und einer Pulsdauer von ca. 20 ns.
LPF F2 Laser sind hocheffiziente Lichtquellen mit kompaktem Design. Sie gehören zu den Lasern mit der kürzesten kommerziell verfügbaren Wellenlänge und bieten einzigartige Ergebnisse in anspruchsvollen Anwendungen wie der präzisen Materialbearbeitung, Photolithographie und Materialforschung (PLD), auch bei Materialien, die für andere Wellenlängen nicht absorbieren. Der optische Strahlengang für diese Laser muss allerdings mit Stickstoff gespült oder evakuiert werden.

Anwendungsgebiete
• Mikro- und Nanostrukturierung von Polymeren
• Laserlithographie
• Pulsed Laser Deposition (PLD)

Max. Pulsenergie: 50 mJ
Wellenlänge: 157 nm
Max. Wiederholungsrate: 20 Hz

Elektrische Daten:
380 - 400 V AC, 12 A, 50 Hz, 3-phasig

Abmessungen (Laserkopf) L x B x H: 1966 x 475 x 800 mm³
Gewicht (inkl. Netzteil und Pumpe): 550 kg
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Zustand: gebraucht
Baujahr/Inbetriebnahme: 2001
Funktionsstatus: Steuerung und Pumpe funktionieren, letzter Lasereinsatz 2011
Gasfüllung: Inertgas
Bedienungsanleitung: vorhanden
Lieferumfang: siehe Abbildung
Preisbeispiel: siehe Anlage
(Änderungen und Irrtümer in den technischen Daten vorbehalten!)
Für weitere Fragen stehen wir Ihnen gerne telefonisch zur Verfügung.

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