08 Stanica Maseveon + odplyňovacia jednotka LC

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Einführung:
1. Dieses Dokument beschreibt die funktionalen Anforderungen bezüglich einer
1.1. LC-Tray-Entgasungskammer
1.2. Die LC-Tray-Entgasungskammer ist eine (gesteuerte Vakuumkammer), in der ein Aluminiumtray mit LC-Flüssigkeit über einen definierten Zeitraum hinweg in einer Vakuumumgebung entgast wird (d. h. eingeschlossene Luft wird entfernt).

Vakuumprofil:
1.1. Drucksollwerte frei einstellbar zwischen 1,103 und 1,10-3 mBar
1.1.1. Messbereich: 1,103 – 5,10-4 mBar
1.2. Zeitsollwerte frei einstellbar zwischen 1 und 600 Minuten pro Schritt
1.2.1. Entgasungsschritt (D) kann von Minuten bis zu Tagen dauern
1.3. Evakuierungs- und Belüftungsraten müssen regelbar sein
1.4. Der Evakuierungszyklus (A – D) läuft automatisch ab
Fgodpfx Agowam Sasueh
1.4.1. Der Belüftungsschritt (E) muss manuell (durch den Bediener) aktiviert werden
1.5. Typisches Entgasungsprofil

2. Innenraum:
2.1. Polierte Prozesskammer (innen) aus Edelstahl (alternativ Aluminium)
2.1.1. Die Leckrate ist zu definieren/vereinbaren
2.2. LC-Tray-(Adapter-)Schublade zum einfachen (Ent-)Laden des LC-Trays (kein Stoß-/Schüttelbewegung zulässig), siehe Abschnitt 2 LC-Tray-Abmessungen und Anhang 1
2.3. Das LC-Tray muss jederzeit waagerecht (wasserpas) stehen, um ein Auslaufen der LC-Flüssigkeit zu verhindern
2.4. Die Kammer muss leicht und schnell für Reinigungsarbeiten und/oder zum (Ent-)Laden des LC-Trays zugänglich sein
2.5. Die Kammerinnenseite muss poliert sein, um eine einfache Reinigung und Vermeidung von Kontaminationen und/oder Feuchtigkeitsansammlungen zu gewährleisten
2.6. Möglichkeit zur Überwachung des Entgasungszyklus (Sichtfenster), z. B. Beobachtung des Verhaltens der LC-Flüssigkeitsoberfläche im Tray
2.7. Keine Prozesskontamination durch Kammermaterial (bzw. -herstellung) erlaubt

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