Zeatz Phv-Baureihe kúpiť použité (27)

Stav: použitý, Rok výroby: 2010, Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sortierer Modell: ASYST Spartan EFEM Typ: Sortierer Zustand: Gebraucht Technische Daten: 100-240V AC 50/60Hz 10A Allgemeines: 300-mm-EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Mini-Umgebung und integriertem Wafer-Transferroboter Lasdpex I Ax Sjfx Aklsd Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung. Es verfügt über drei Loadports, ein Mini-Umgebung mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfangreiche Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen für die Anlagenintegration. Zusätzlich ist ein vollständig integrierter Wafer-Transferroboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an die nachfolgenden Prozessmodule übergibt. Baujahr: 27.12.2010 Inklusive CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbüchern (9701-3060-01 Rev G)

Stav: použitý, Priemer brúsenia 350 mm Dĺžka brúsenia 1000 mm Výška hrotov 175 mm Potrebný priestor cca 3,6/3,5 m Ako celosvetovo vedúca spoločnosť v oblasti generálnych opráv/retrofitov Kellenberger zabezpečujeme nielen dodávky strojov v kvalite nového stroja so zárukou, ale ponúkame aj servis pre Vaše stroje: Rad Kellenberger Kel-Varia so systémom riadenia Kelco 90. Mechanická generálna oprava: - Kompletná generálna oprava stroja podľa testovacieho protokolu Kellenberger - Nová servisne priateľská kabína - Nové lakovanie Elektrická generálna oprava: - Nové, moderné CNC ovládanie brúsok na guľato s rozhraním BEMA - Nový rozvádzač - Nová pohonná technika - Výmena všetkých elektrických vedení, tlakových spínačov Berus atď. - Nové absolútne sklenené odmeriavacie pravítka v osiach X a Z - Nový absolútny rotačný snímač (pre B-os) Štandardná výbava: - Pevný koník s kužeľom MK5, voliteľne s adaptérom MK5/krátky kužeľ - Otočný koník s kužeľom MK4, voliteľne s jemným nastavením - Brúsne vretená T1/T2/T3 Laedpfx Akouwv H Hslsd - T1 - priemer brúsneho kotúča 400 mm - T2 - priemer brúsneho kotúča 300 mm - T3 - zariadenie na vnútorné brúsenie, pohon cez brúsny motor remenom - Brúsny motor 4,4 kW - B-os s vysokým rozlíšením - Merací systém Marposs pre meranie brúsnych kotúčov - Pozdĺžne polohovanie Marposs - GAP Control (senzor na brúsnom vretene) ELASO integrované do systému riadenia - Polautomatické vyvažovanie ELASO integrované do systému riadenia - BEMAT meranie brúsnych kotúčov Voliteľná výbava za príplatok: - Vysokofrekvenčné vnútorné brúsne vreteno - Vysoko presný, maximálne tuhostný vreteník obrobku - Merací riadiaci systém - Odsávanie - Pásový papierový filter Ovládanie: Základné brúsne cykly: - Nulovanie obrobku s pozíciou Z (pozdĺžne polohovanie) - Meranie brúsneho kotúča s BEMAT - Senzor priblíženia GAP - Meranie diamantov na orovnávanie - Korekcie - Vonkajšie a vnútorné valcové brúsenie (kyvné a priečne brúsenie) - Vonkajšie a vnútorné kužeľové brúsenie (naklápanie B-osy, orovnávanie s rovným kotúčom) - Vonkajšie a vnútorné rádiusové brúsenie (rádius orovnaný na kotúči) Voliteľné brúsne cykly: - Profilové priečne brúsenie vonkajšie a vnútorné s profilovým kotúčom - Profilové brúsenie vonkajšie a vnútorné s rovným kotúčom - Jedno a viacchodové vonkajšie a vnútorné závitové brúsenie s voľne voliteľným uhlom bokov - Brúsenie trapézových závitov - Neokrúhle/brúsenie mimo osy vonkajšie a vnútorné Cena 15 000 €